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Class B: 表面輪廓儀- (TM)

Class C: X射線繞射儀

Class A: 場發射掃描式電子顯微鏡 (FE-SEM)

Class B: 真空金屬濺鍍機(Sputter)

Class A: 雙面式曝光對準機-(DSMA)

Class A: 化學輔助氣相沉積系統(PECVD)

Class C: 掃瞄式電子顯微鏡(SEM)

Class A: 四點探針儀

Class A: 電漿式去光阻機-(PS)

Class B: 電漿清洗機



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